I.물��센서실험

<MEMS 센서를 이용한 응용사례>

- MEMS 기술 적용 자동차 센서 기술
MEMS 기술을 적용한 센서의 상용화는 먼저 자동차 엔진 제어용 압력 센서(Manifold Absolute Pressure Sensor)에서부터 시작이 되었으며, 엔진 제어 시스템(압력, 유속) ABS 시스템(가속도, 각속도), Traction

시스템(가속도), 후륜제어 시스템(각속도, 가속도), 네비게이션 시스템(진동자이로)용 등의 압력과 가속도 센서가 가장 큰 시장을 현성하고 있으며, 향후 관성, 유속⦁유량 그리고 가스 센서 등의 시장도 꾸준히 증가할 것이다. 자동차 이외 생체의 다양한 정보를 제공하기 위한 Bio-medical 용(압력, 온도, 유량, 가속도, 각속도, 광학 등), 가전기기용(압력, 수위, 음향, 이미지, 가스 등) 및 정보통신기기용(노즐, 밸브, 펌프, 적외선, 이미지 등)등에도 광범위한 응용 분야를 가지고 있고 지금까지 사용되고 있지 않던 장난감, 가전 제품 등 실리콘 센서를 활용한 신규 제품의 등장도 예상할 수 있다. 이들 중 MEMS 기술의 접목으로 구체화되고 있는 분야인 압력, 가속도, 각속도, 유량 센서 위주로 설명을 하고자 한다.

가. 압력 센서
압력을 감지해서 전기 신호로 변환시키는 목적으로 사용되는 감지기로서 가전 제품을 비롯하여 자동차, 생체 공학용 의료기, 환경 제어왿� 산업체의 대규모 시스템 제어 등에서 광범위하게 응용되고 있다. 실리콘 다이어프램형(Diaphragm) 압력 센서를 외부 압력에 의한 다이어프램의 휨 정도가 달라짐을 이용하는 정전용량형(Capacitive)과 다이어프램 위에 위치한 저항체가 응력에 따라 저항값이 바뀌게 됨을 이용하는 압저항형(Piezores-istive)으로 구분된다.
정전용량형 압력 센서는 온도 계수가 낮고, 전력 손실이 작지만, 소자 면적이 넓어야 하고 정전 용량을 출력 신호로 이용하기 때문에 복잡한 신호 처리부를 필요로 한다. 반면에 압저항형 압력