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1. ?? :¡¡TCO? ?? ?? ?? ? ??? ????
1.1 ? ?(TCO??)
1.2 TCO? ??
1.3 TCO? ??
1) ITO
2) SnO2
3) ZnO
4) ????????(??????)
5) IZO
1.4 ??? ?? ? ?? ?? ??
1) ITO ????
- ITO target ????(????? ?? ??? Control, ???? ?? ?? ??)
- ITO ?? ??(Low temperature process, Ion Assisted method)
2) ITO ?? ??

2. ?? :¡¡?? ?? ?? ? ??
2.1 ?? ??
2.2 ?? ?? (? 14?)
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- ITO ???, ? ???? ? ?? ??
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