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소개
GDS에 관한 예비/결과보고서목차
1. GDS의 원리
2. 실험결과본내용
1. GDS의 원리
-> 일반적으로 금속 재료의 표면 분석에는 Auger electron spectroscopy 방법이 많이 사용되고 있으나 두께가 수 ㎛ 이상되는 도금층의 경우, 도금층의 계면까지 직접 분석하기에는 어려운 점이 있고 또한 수소의 분석이 불가능하다. 그러나 GDS 분석법은 비교적 높은 sputtering 속도를 가지고 도금층의 계면까지 용이하게 분석할 수 있고 수소 원소도 분석할 수 있으며 또한 RF교류 전원 source를 사용하여 부도체 시편 표면의 전기적 charging 현상 없이 분석할 수 있다는 장점이 있다.
-> 중성 원자에 적절한 에너지를 외부로부터 가하면 원자 내부의 valence 전자가 바닥 상태 (ground state )로부터 높은 에너지 준위로 전이하여 들뜬 상태( excited state )가 된다. 이때, 들뜬 상태의 전자는 불안정하여 다시 바닥상태로 되돌아오면서 에너지 준위 차이 만큼에 해당하는 radiation을 방출하게 된다. 이러한 과정은 자외선에 해당하는 에너지 영역에서 원자의 outermost electron level에서 발생되고 만약 전자의 결합 에너지보다 더 높은 에너지를 원자에 주게 되면 원자는 이온화가 된다. 이온화된 원자는 다시 excitation될 수 있지만 일단 최외각 전자를 잃어 버렸기 때문에 에너지 준위가 변화된 다른 state를 형성하게 된다. 이러한 과정에서 발생되는 radiation 선을 이용하기 위해서는 원자에 충분한 에너지를 공급하는 것이 필요하다. 그 방법으로는 flame, plasma, electrical discharge 등이 사용되는데, Glow discharge는 electrical discharge의 일종으로서 알곤 가스 존재하에서 발생된다. 즉, 두 전극 사이에 알곤 가참고자료
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