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Thermal 나노임프린트에 대해

Thermal 나노임프린트의 원리, 장단점, 제조기술 등입니다
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최초등록일 2010.09.24 최종젿작일 2010.09
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Thermal 나노임프린트에 대해
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    소개

    Thermal 나노임프린트의 원리, 장단점, 제조기술 등입니다

    목차

    1. Thermal 나노임프린트란?

    2. 스탬프 제조기술

    3. 나노임프린트 리지스트

    4. 참고문헌

    본내용

    1. Thermal 나노임프린트란?
    나노임프린트 기술은 폴리머 레진을 성형하는 방법에 따라서 UV 나노임프린트왿 thermal나노임프린트로 나뉜다. UV 나노임프린트는 스탬프를 이용하여 레진에 패턴을 가형성한 후 UV를 조사하여 모노머 형태의 레진을 폴리머화 하여 성형하는 방법이고, thermal 나노임프린트는 UV 대신 열 에너지를 사용하여 폴리머화 하는 방법이다.

    -성형방법
    S.Y.Chou 교수가 초기에 개발한 나노임프린트 공정은 그림 1과 같은 방법으로 진행되었으며, 스탬프에 의해 가압된 레진을 성형하기 위해 열을 사용하는 방식을 채택한 thermal 나노임프린트 방식이었다. 패턴 성형은 나노 크기의 패턴이 요철 형태로 형성된 스탬프를 이용하여 PMMA(Polymethylmethacrylate) 재질의 폴리머 레진이 도포된 기판표면을 유리전이온도 이상의 고온조건인 140~180℃ 이상의 온도로 가열한 후 가압하여 형상을 성형한 뒤 100℃ 이하로 냉각시켜 분리하여 패턴을 성형하였다.

    -장·단점
    Thermal 임프린트의 스탬프는 변형이 없고 열 전도도가 좋은 실리콘(Si)이나 니켈(Ni)과 같은 금속으로 제작된 스탬프를 많이 사용한다. 온도를 제어해야 하기 때문에 정밀한 공정컨트롤이 어렵고, 패턴 성형을 위하여 높은 압력으로 가압하여야 하여 스탬프 표면에 돌출되어 있는 나노사이즈의 패턴들이 깨질

    참고자료

    · Gun Young Jung, Polymer science and technology, Vol 20, No 1, Feb 2009
    · S.Y.Chou, P.R.Krauss, P.J.Renstrom, Appl. Phys. Lett. 67, 3114, 1995
    · www.etnews.co.kr, 2008.9.16
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