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터뵖펌프, 터뵖분자펌프 ppt 발표 파일

반도체공정 발표용으로 만들었구요. 터뵖분자펌프(터뵖펌프)에 대한 발표 ppt자료입니다. ppt만 보고도 이해가 가능하게 만들었습니다.
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최초등록일 2012.12.29 최종젿작일 2012.11
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터뵖펌프, 터뵖분자펌프 ppt 발표 파일
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    소개

    반도체공정 발표용으로 만들었구요.
    터뵖분자펌프(터뵖펌프)에 대한 발표 ppt자료입니다.
    ppt만 보고도 이해가 가능하게 만들었습니다.

    목차

    1.터보 분자 펌프란?
    2.사용범위
    3.원
    4.구조
    5.장단점
    6.주의사 &고장 및 원
    7.컨트롤러

    본내용

    Content
    1958년 Becker에 의해 고안
    빠른 속도로 회전하는 blade에 의해서 기체를 압축하여 배기하는 펌프
    10-3torr~10-9torr
    보조펌프왿 함께 사용
    오일을 사용하지 않기 때문에 매우 깨끗하다.
    요즘은 자기부상의 원리로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있다.
    1. 터보 분자 펌프란?
    <실험실에 있는 펌프왿 컨트롤러>

    <중 략>

    6. 터보 분자 펌프 주의사 고장 및 원
    창 → 회전자왿 고정자 사이의 gap이 줄어들거나 접촉
    베어링을 사용하는 펌프에서는 베어링에 사용된 윤활유나 그리이스가 나빠지는 경우
    펌프 내부로 외부 물질이 들어가면 회전자왿 고정자 사이에 심각한 손상 → wire mesh(철망)또는 splinter 장착
    손상요
    이물질 유입
    충격
    냉각수 흐름이 중단
    오일 및 베어링의 마모 확인
    주의사
    증상

    펌프가 작동하지 않음
    1. 휴즈가 끊어짐
    2. 과열상태에서 동작
    3. 모터 배선의 잘못
    4. 부적합한 컨트롤러 사용
    동작 중 과부하 상태가 됨
    1. 흡인압력이 너무 높음
    2. 베어링 손상
    소음과 진동이 심함
    1. Rotor의 균형이 맞지 않음

    참고자료

    · 없음
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