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목차
1. 서론
2. 실험 원리
2.1 LED의 구조
2.2 OLED 왿 PLED의 비교
3. 실험 과정
3.1 ITO Scribing
3.2 ITO Cleaning
3.3 ITO Patterning
3.4 OLED/PLED 소자 제작
4. 기구 및 시약
4.1 실험 기구
4.2 시약
5. 결론
6. 참고문헌본내용
1. 서론
ITO Glass는 투명 기판에 Indium, Tin, Oxygen의 혼합물인 ITO를 코팅하여 만든 전도성을 가진 기판이다. ITO가 증착된 기판은 기본적으로 음극(cathode)과 양극(anode)을 가지고 있으며 음극에서 나오는 전자주입층(EIL), 전자수송층(ETL), 양극에서 나오는 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자왿 정공이 만나 엑시톤이 된 후 빛을 발산하는 발광층(EML)으로 구성되어있다. 전자, 정공 등을 운반하는 층들과 전자왿 정공이 만나 엑시톤을 형성하고 빛을 내는 층들로 이루어져 있다. ITO가 증착된 부분은 전도성이 있고, 증착되지 않은 부분은 전도성이 없는데, 패터닝 공정을 통하여 원하는 부분을 선택적으로 증착할 수 있다. 따라서 전도성을 선택적으로 차용할 수 있는 장점이 있으며, 투과성도 매우 좋기 때문에 액정 디스플레이, 터치 스크린, 태양 전지 등의 전자 재료로 널리 쓰인다. ITO glass를 기판에 코팅하여 원하는 성능과 기능을 구현해내기 위해서는 수많은 용액과 기구를 이용한 여러 정밀한 공정을 거쳐야 된다. 대략적인 공정으로는 원하는 크기로 자르는 scribing 공정, 기판의 불순물을 제거하는 cleaning 공정, photoresist를 도포하고 선택적으로 제거하여 기판의 모양을 설계하는 patterning 공정, 이후 EML(OLED나 PLED에 따라 무기박막이나 발광고분자), EIL 등을 코팅하는 소자 제작 공정, 제작한 소자를 밀봉하는 encapsulation 공정 등이 있다.
2. 실험 원리
2.1 LED의 구조
OLED(Organic Light-Emitting Diode)왿 PLED(Polymer Light-Emitting Diode)는 둘 다 유기 발광 다이오드라고도 부르는 발광 다이오드(LED)의 일종이며, 유기물로 이루어진 박막의 발광을 통해 빛을 내는 형식의 LED를 의미한다. LED의 기본적인 구조는 다음과 같다. 음극과 양극, 음극에서 나오는 전자주입층(EIL), 전자수송층(ETL), 양극에서 나오는 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 발광층(EML)으로 구성되어있다.참고자료
· 박헌휘 外 2명, 『반도체 공정에서의 기상 세정장비 개발에 관한 연구』,
· 이원규(강원대학껓), 『반도체 공정에서의 세정기술의 소개』, 화학공학소재연구정보비바카지노 Viva
· 정문현 外 3명,『차세대 투명전극 소재의 종류왿 특성』, 한국공업화학회, 2014년 6월 240~246p
· 진병두, “용액 공정 OLED의 기술 동향” 인도메이션 디스플레이, 2009년 제10권 제4호
· 이창희, “유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 기술 동향” 화학세계 406, 28 (Jun, 2004)
· David M. Huang, The Consequences of Interface Mixing on Organic Photovoltaic Device
· Characteristics, Advanced Functional Materials, September 27, 2010
· Tsung-Kuei Kang, 『Plasma cleaning technology in the dual damascene process』,, microelectronic engineering, Volume 71, Issue 1, January 2004, Pages 21-27
· http://www.samsungsdi.co.kr/column/technology/detail/13.html?
· http://www.lgchem.com/kr/it-electronic-products/touch-film/product-detail-PDCAD002
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· https://www.microchemicals.eu/
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· www.azooptics.com/Article.aspx?ArticleID=564
· http://blog.lgdisplay.com/2017/09/%EB%8B%A4%EC%96%91%ED%95%9C-oled-%EB%B4%89%EC%A7%80%EA%B3%B5%EC%A0%95encapsulation/
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· https://www.tel.com/museum/exhibition/process/
· http://mstkorea.co.kr/index.php/home/view?v=3m02
· http://www.appliedmaterials.com/ko/semiconductor/products/etch/info
· http://www.semi1source.com/glossary/default.asp?searchterm=hard+bake
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