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소개
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1. 반도체 응용
(1) 반도체 코팅 소재 ‘이트륨옥사이드’
(2) 반도체 산화막 생성 장비
(3) 나의 견해
2. 농업 분야 응용
(1) 플라즈마 기술 기반 스마트 저장시스템
(2) 플라즈마를 새싹보리에 적용
(3) 나의 견해
3. 환경 분야 응용
(1) 플라즈마 발전소
(2) 플라즈마 그린수소 클러스터 조성
(3) 나의 견해
4. 공중보건 및 코로나 바이러스 질병 치료 관련 자료
(1) 플라즈마 살균기/멸균기
(2) 산소 플라즈마왿 상온 대기압 플라즈마
(3) 나의 견해
5. 참고문헌본내용
1. 반도체 응용
(1) 반도체 코팅 소재 ‘이트륨옥사이드’
일본이 한국에 반도체 및 디스플레이 소재의 소출을 규제한 이후, 반도체 소재왿 관련 기술이 국산화될 필요성이 높아지는 추세이다. 반도체 공정 코팅 소재도 그동안 일본에서 전량 수입하여 전적으로 의존해왔지만, 일본의 수출 규제로 사용이 어려워졌다. 그 가운데 2019년 8월 29일, 국내의 한 중소기업 세원하드페이싱이 국가핵융합연구소의 기술 지원을 받아 반도체 공정 코팅 소재의 국산화에 성공했다. 미세 분말 상태에서 응집하지 않는 용사 코딩 소재인 이트륨옥사이드(Y₂O₃)를 국내 최초로 개발해낸 것이다. 플라즈마 기술이 적용된 이트륨옥사이드 분말은 일반 이트륨옥사이드 분말보다 입자 간 엉김이나 뭉침 없이 부드럽고 유동성이 매우 높다. 그래서 균일하고 미세한 코팅막을 형성할 수 있는 장점을 갖는다. 이러한 이트륨옥사이드는 플라즈마 에처왿 화학증착장비의 내부 코딩 등 반도체 공정 장비에 적용되며, 분말 상태의 이트륨옥사이드를 겉에 분사하면 제품의 내구성이 향상된다는 장점이 있다. 핵융합연 플라즈마 기술 개발자 홍용철 박사는 플라즈마 기술은 뛰어난 품질의 미세 용사 분말을 제작할 수 있으며, 앞으로 반도체 공정이 아니더라도 다양한 소재 산업에 적극적으로 활용될 것으로 기대된다고 말했다.
(2) 반도체 산화막 생성 장비
이큐테크플러스가 반도체 공정에서 필수적인 기술을 독자적으로 개발했다. 이 기술은 산화막 품질을 올리는 기술로, 이것은 반도체 장비왿 부품의 국산화에 이바지했다. 기존의 플라즈마 열처리 장비는 고온으로 생성할 시 좁은 회로 안에서 균일한 두께의 산화막을 형성하기 힘들며, 첨가되는 붕소의 경우 자기 자리를 벗어날 수 있다는 단점이 있었다. 더해서 공정 도중 이온이 생성되어 전류의 흐름을 방해하거나 산화막 손상을 일으킬 수도 있었다. 이 회사는 그러한 단점은 보완하고 장점만을 모은 하이브리드형 모듈 제조 기술을 개발했다. 플라즈마가 아닌 열처리 방식을 이용하여 이온에 의한 신뢰도 저하나 산화막 손상을 제거했다.참고자료
· 日서 전량수입하던 반도체 코팅 소재 국산화 - 조선비즈 김태환 기자
· https://biz.chosun.com/site/data/html_dir/2019/08/29/2019082901726.html
· 플라즈마 기술 활용 반도체 소재 국산화 성공 - 이웃집 과학자 강지희 기자
· http://www.astronomer.rocks/news/articleView.html?idxno=88057
· 이큐페크플러스, 반도체 산화막 생성 장비 독자 개발... “산화 기술 국산화 도전” - 전자신문 강해령 기자 https://www.etnews.com/20201113000129
· ‘팔방미인’ 플라즈마…이번엔 식량문제 해결사미래산업 플러스 - 헤럴드경제 구본혁 기자 http://news.heraldcorp.com/view.php?ud=20210203000681
· 몸에 좋은 새싹보리… '플라즈마' 쐬면 성장속도 높아지고, 기능성 물질도 많아져 - 조선비즈 박지환 농업 전문 기자
· https://biz.chosun.com/site/data/html_dir/2020/02/17/2020021701462.html?utm_source=naver&utm_medium=original&utm_campaign=biz
· 플라즈마 처리한 새싹보리, 기능 성분 함량 증가 - press9 최미경 기자
· http://www.press9.kr/news/articleView.html?idxno=42284
· ‘플라즈마로 세상을 깨끗하게 변화시키다’..그린사이언스 이봉주 대표 - 한국경제TV
· https://www.wowtv.co.kr/NewsCenter/News/Read?articleId=A202101110369&t=NN
· 전북과학총연합회 국가핵융합연구소 플라즈마 기술연구비바카지노 Viva - 전북일보 강인 기자
· http://www.jjan.kr/news/articleView.html?idxno=2095710
· 2,727억원 투입해 플라즈마 그린수소 클러스터 조성 - 투데이 에너지 조대인 기자
· https://www.todayenergy.kr/news/articleView.html?idxno=233747
· 닥터케이, 저온 플라즈마 산화질소 특허기술로 병의원 클린룸 공략 - 한국경제TV
· https://www.wowtv.co.kr/NewsCenter/News/Read?articleId=A202104060095&t=NN
· "플라즈마 기술로 공간 살균" - 한국 경제 문혜정 기자
· https://www.hankyung.com/economy/article/202003100220i
· 바이오존코리아 하관수 대표 “코로나19 퇴치, 산소 플라즈마·오존치료법 검토해야” - 머니투데이 중기&창업팀 고문순 기자
· https://news.mt.co.kr/mtview.php?no=2020031214522956919태그
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Easy Ai 요약
이 문서는 플라즈마 기술이 반도체, 농업, 환경, 보건 등 다양한 분야에서 혁신적인 발전을 이루고 있다는 내용을 다루고 있다. 반도체 분야에서는 플라즈마를 이용해 국내 기업이 반도체 코팅 소재를 국산화하는 등 소재 및 장비 기술 발전이 이루어지고 있다. 농업 분야에서는 플라즈마 기술을 활용해 작물 생장 촉진, 저장 기술 개발, 기능성 성분 함량 증진 등의 성과를 거두고 있다. 또한 환경 분야에서는 플라즈마를 이용한 친환경 에너지 발전, 수소 생산 등의 기술이 개발되고 있으며, 코로나19 대응 분야에서도 플라즈마를 활용한 살균 및 멸균 기술이 주목받고 있다. 이처럼 플라즈마 기술은 다양한 산업 분야에서 혁신적인 발전을 이루어내고 있으며, 앞으로도 지속적인 활용과 발전이 기대되는 기술이라고 할 수 있다.
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자료후기
Ai 리뷰플라즈마 기술의 발전 과정과 다양한 산업 분야에서의 활용 사례를 자세히 소개하고 있으며, 특히 코로나19 대응에 플라즈마 기술이 기여할 수 있는 바를 잘 설명하고 있다. -
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