![[??]???? ???? ?????](https://image4.ppt2video.com/Production/thumb212/2006/11/19/data4226114-0001.jpg)
-
????
??
???? ???? ???????
1. ?? ??
¡ôNano indentation
2. ??? Adhesion ??
(1) Pull-off test
(2) Scratch test
(3) indentation Cracking test
3. SEM
[?? ? ??]
[???? signal]
[??? ??]
4. TEM
[?? ? ??]
[??]
5. X-ray Diffraction (XRD)
¡ôXRD ??? ??
¡ô????
6. Auger Electron Spectroscopy (AES)
¡ôCharging Effect
¡ô??? ??
7. Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)
(1)??
(2)??
¡ôApplication of RBS
8. Raman spectroscopy
9. Fourier transform infrared spectrometer (FTIR)
10. XPS
11. SPM (Scanning Probe MicroScope)
12. Infrared Spectrometer????
1. ?? ??
????? ??? ¡°??? ?? ??¡±? ????, ??? ?? ????? ?? ???? ?? ? ??. ??? ???? ??? ????? ??, ???, ???? ? ??????? ?? ???? ??. ??? ???? ????? ???? ??? ?? ????(scratch hardness), ????(rebound hardness), ????(indentation hardness)? ???. ? ? ????? ????? ????? ?? ???? ??. ????? ??? ???? ???? ??? ?? ??? ??? ?????, ??? ??? ?? ???? ???. ??? ???? ??? ??? ??, ??? ????? ??? pit, ??? ?? ??? ????? ??. ???? ??? ?? ??? 10???? ??? ??, ??? ?? ???????? ??? 2.5?, ?? ??????? ??? 5? ??? ??? ????.
¡ôNano indentation
?? 1. indentation load-depth curve & log plots of unloading curve
Nanoindentation? ??? ?? ?????? ??? ?? ? ¦Ìm order ??? ??????? ????? ?? ?? ??? ?????. indentor? ?? ??? ???? ???? ???? indentation curve? ???? ???? ? curve? ??? plastic hardness ? universal hardness(?? ? ???? ??? ??? ?? ??) ? ?? ??? ??? ? ??. ?? ?? ????-????? ????? ??? ?? ? ????? ?? ??? ??? ??? ?? ??. (?? ?? ??? ???? ?? ????? ???? ??? ????-????? ?????? ???????
¡¤ http://www.krict.re.kr/~tfml/XPS_AES.html#XPS
¡¤ http://blog.naver.com/blue74126?Redirect=Log&logNo=140013228921
¡¤ http://blog.naver.com/elect94?Redirect=Log&logNo=60018139643
¡¤ http://oms.kbsi.re.kr/oms/sub1_3_view.php?year=1999&no=1&sel1=&s_name=
¡¤ http://blog.naver.com/nanomate?Redirect=Log&logNo=110003145319
¡¤ http://blog.naver.com/ssambaii?Redirect=Log&logNo=80019004734??
-
????
Ai ???? ??? ????? ??? ?? ??? ?? ???? ?????. ????? ??? ?? ?? ??? ????. ?? ???? ????! -
??????? ??? ??? ???
? ?????
-
??? ?? ? ??? ???? ??? ?????? ???? ???, ?? ?? ? ??? ???? ?? ?? ??? ?? ????? ????.
?? ? ??? ??? ??? ??, ?? ?????? ???? ????.
?????, ???? ? ?? ?? ?? ? ????? ????? ????? ??? ??? ????. -
?????? ???? ??? ??? ???? ???? ??? ???? ???, ??? 4?? ???? ??? ? ?????? ????.
???? ???? ??? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ????? ??? ?? ??? ????? ?? ?????? ?? ???? ?? ?? ?? ??? 70% ?? ??? ???? ?? (???? ??? ? ?? ?? ???) ???? ?? ???, ????, ??, ?? ?? ??? ??? ?? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ?? ??
?? ??? ??? ??? ???!
-
[????]?? ??,PVD,??,????,???? ???
70???
1. ?? ?? ???? ?????(Bulk materials)?? ???, ?? ???? ??? ??? ?? ??? ??? ??? ??(Substrate)?? ??(Thin Film)? ????? ????? ?? ??? ? ??? ?? ??. 1.1 ????? ?? ?? ???? ?? ??? ??????? ??? ???? ??? ??? ??? ??.. -
[?????] ???? ????
11???
???? ?? ??? ?? ?? ?? ?? ???? ?? ??? ? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ???? ??? ??. ??? ??? ?????? ???? 2????? ???? ?? ??? ?? ????? ???? ?? ???, ?? ???? ? ?? ??? ???? ????, ??? ??? ???? ????? ?? ???? ??, ?? ??..
-
[??]Auger
11???
?? ??? x? ??, ?????? ?? ??,?? ????? ?? ????? ?? ? ??? ???? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ??? ??.??? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ???? ??? ?? x?? ????? ,? ?? x? ?? ?? ?? ??? ???? ??? ???? ?? ,???? ??? ???? ?? ??. .. -
???? ?? / ???? ? ??
5???
1. ???? ?? ?? ? ?? ???? ??? ?(²¨)? ?? ?? ???? ????(ÈëÉäÇ¿¶È) ?? ???? ???, ?? ?? ???? ???(͸ß^ÂÊ, transmissivity), ?? ??????? ??. ?? ?? ??? ??? ??? ???? ???? ????? ???? ?, ? ????(???)? l0, ???? ??? ?? ??? lt?..
-
[????] ?????? ????
22???
?? ????? ????? ???? ??? ???? ???? ?? ???. ???? ????? ?????, ????, ?? ????? ?? ??. ???? ????? CVD?, ???, ?? ??????, ??? ?? ??. ??? MgO(100)? ???? ????? 600[¡æ]? ???[?]? PZT??? ??? X? ?? ??? ??? ???..
???? ??? ?????
?? ?? ??? ???? ???!
??? ????
-
??/??
- ???????? ?? 9. ???? ?? ?? ??(?????? ??) ?????
- ???????? | 6 ???
- 1,000?
??? ????
-
??/??
- ???????? ?? 10-1. ???? ?? ?? ?? ???(1) ?????
- ???????? | 6 ???
- 1,000?
??? ????
-
??/??
- ???? - ????? + ?????
- ??? | 10 ???
- 3,000?
??? ????
-
??/??
- ???????? ?? 10-2. ???? ?? ?? ?? ???(2) ?????
- ???????? | 6 ???
- 1,000?
-
??/??
- ????? ??, ???? ?? ? ?? ?? ?? [A+ ???]
- ???? | 6 ???
- 1,000?
-
??/??
- ??????.???? ?????
- ??????? | 7 ???
- 2,000?
-
??/??
- [??? ?????? - ?????] Hall measurement ? 4-point probe? ??? ???? ??? ?? ??
- *?* | 4 ???
- 1,000?
-
??/??
- ??????(¢ò) ????? CdS ??
- *?* | 9 ???
- 1,000?
-
??/??
- ?? ???? ??? Ohmic Contact ??? Metal ?? ?? ?????
- *?* | 9 ???
- 1,000?
-
??/??
- ??? - Li metal ?????
- *?* | 5 ???
- 2,000?
-
??/??
- (??????)?????? ??? ohmic contact ??? metal????
- *?* | 9 ???
- 1,000?
-
??/??
- sputtering?????
- *?* | 8 ???
- 1,000?
-
??/??
- XRD??????? (Si)
- *?* | 9 ???
- 1,500?
-
??/??
- Al 7XXX?? ??(Al - Zn - Mg)? ??, ???? ???, ????? ?
- *?* | 8 ???
- 1,500?
-
??/??
- Al-Cu ??? ?? ??? ?? ???? ??
- *?* | 10 ???
- 1,000?
?? ??? ????? EasyAI
¡°EasyAI ? ??? ?? ??? ???? ?? ? ????"
