BRONZE
BRONZE ๋“ฑ๊ธ‰์˜ ํŒ๋งค์ž ์ž๋ฃŒ

์—ด์ๅฆ์ฐฉ(thermal evaporator), ํŽŒํ”„

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6 ํŽ˜์ด์งฟ’
ํ•œ์้œ์˜คํ”ผ์Šค
์ตœ์ดˆ๋“ฑ๋ก์ผ 2007.03.13 ์ตœ์ข…์ ฟ’์ž‘์ผ 2006.12
6P ๋ฏธ๋้ฉ๋ณด๊ธฐ
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  • ๋ฏธ๋้ฉ๋ณด๊ธฐ

    ์†Œ๊ฐœ

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    ๋ชฉ์ฐจ

    1. Thermal Evaporator
    2. Rotary Pump์™ฟ’ Diffusion Pump

    ๋ณธ๋ๅฉ๋‚ด์šฉ

    1. Thermal Evaporator
    ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์ด๋ผ๋Š” ๊ฒƒ์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ์†Œ์ž๋ฅผ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๊ณผ์ •์ด๋‹ค. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์€ ํฌ๊ฒŒ ๋‚˜๋ˆ„๋ฉด (1) ์‚ฐํ™”๊ณต์ •, (2) Diffusion๊ณต์ •, (3) ์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ณต์ •, (4) ํ™”ํ•™๊ธฐ์ƒ์ฆ์ฐฉ๊ณต์ •, (5)์‚ฌ์ง„์‹๊ฐ๊ณต์ •, (6) ๊ธˆ์†๊ณต์ • ๋“ฑ์ด ์žˆ๋‹ค.
    ๊ณต์ •์„ ํ†ตํ•ด์„œ ์›จ์ดํผ์— ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์„ ์ฃผ์ž…ํ•ด์„œ ํŠน์ •ํ•œ ์˜์—ญ์„ ํ˜•์„ฑํ–ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•ด๋„ ์•„์ง๊นŒ์ง€๋Š” ์†Œ์ž๋กœ์„œ์˜ ๊ธฐ๋Šฅ์„ ํ•˜์ง€๋Š” ๋ชปํ•œ๋‹ค. ์†Œ์ž๋กœ์„œ ์˜ฌ๋ฐ”๋ฅด๊ฒŒ ์ž‘๋™์„ ํ•˜๊ธฐ์œ„ํ•ด์„œ๋Š” ์ „์••์ด๋‚˜ ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ์ธ๊ฐ€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ๊ธˆ์†๋‹จ์ž๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•œ๋ฐ ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธˆ์†๋‹จ์ž๋ฅผ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์›จ์ดํผ์— ๋งŒ๋“ค์–ด์ฃผ๋Š” ๊ณผ์ •์ด ๊ธˆ์†๊ณต์ •์ด๋‹ค. ๊ธˆ์†๊ณต์ •์„ ํ†ตํ•ด ๋‹จ์ž๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์—๋Š” ํ™”ํ•™๊ธฐ์ƒ์ฆ์ฐฉ ๋˜๋Š” ์—ด์ๅฆ์ฐฉ ๋ฐ ์Šคํผํ„ฐ๋ง ๋“ฑ์ด ์žˆ๋‹ค.
    Evaporation์˜ ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ๋Š” thermal evaporation๊ณผ e-beam evaporation, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ด ๋‘˜์„ ์กฐํ•ฉํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ์žˆ๋‹ค. Evaporation ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์˜ค๋ž˜๋œ film deposition ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ์„œ ๊ณต์ •์ด ๋‹จ์ˆœํ•˜๊ณ  ์ฆ์ฐฉ ์†๋„๊ฐ€ ๋น ๋ฅด๋ฉฐ ์žฅ๋น„์˜ ๊ฐ€๊ฒฉ์ด ์ €๋ ดํ•œ ์žฅ์ ์ด ์žˆ๋Š” ๋ฐ˜๋ฉด film quality๊ฐ€ ๋‚˜์œ ๋‹จ์ ์ด ์žˆ๋‹ค. Thin film HIC์˜ ์ œ์ž‘ ๊ณต์ •์— ์žˆ์–ด์„œ evaporation ๋ฐฉ๋ฒ•์˜ ํ•„์š”์„ฑ์€ ๋นจ๋ฆฌ ๋‘๊ป๊ฒŒ ์˜ฌ๋ ค์•ผ ํ•˜๋Š” AuSn, PbSn ๋“ฑ์˜ eutectic alloy์˜ ์ฆ์ฐฉ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค. ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ sputtering ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์ฆ์ฐฉ ์†๋„๊ฐ€ ๋А๋ฆฌ๊ณ  ์ฆ์ฐฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‘๊ป˜์˜ ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์œผ๋ฉฐ alloy๋‚˜ ceramic ๋“ฑ๊ณผ ๊ฐ™์ด ์—ฌ๋Ÿฌ ๋ฌผ์งˆ์ด ์กฐํ•ฉ๋œ ๋ฌผ์งˆ์„ ์ฆ์ฐฉํ•  ๊ฒฝ์šฐ์— ์กฐ์„ฑ๋น„๋ฅผ ์กฐ์ ˆํ•˜๋Š”๋ฐ ์–ด๋ ค์›€์ด ์žˆ๋‹ค.

    ์ฐธ๊ณ ์ž๋ฃŒ

    ยท ์—†์Œ
  • ์ž๋ฃŒํ›„๊ธฐ

    Ai ๋ฆฌ๋ทฐ
    ์งฟ’์‹ํŒ๋งค์ž๊ฐ€ ๋“ฑ๋กํ•œ ์ž๋ฃŒ๋Š” ๋‚ด์šฉ์ด ํ’๋ถ€ํ•˜๊ณ  ๊นŠ์ด ์žˆ๋Š” ๋ถ„์„์ด ๋‹๋ณด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๊ณผ์ œ์— ๋ฐ”๋กœ ํ™œ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‚ด์šฉ์ด ๋งŽ์•„ ๋งค์šฐ ๋งŒ์กฑํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ์‚ฌ๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.
    • ์ž์ฃผ๋ฌป๋Š”์งˆ๋ๅฉ์˜ ๋‹ต๋ณ€์„ ํ™•์ธํ•ด ์ฃผ์„ธ์š”

      ํ•ดํ”ผ์บ ํผ์Šค FAQ ๋”๋ต–๊ธฐ

      ๊ผญ ์•Œ์•„์ฃผ์„ธ์š”

      • ์ž๋ฃŒ์˜ ์ •๋ณด ๋ฐ ๋‚ด์šฉ์˜ ์ง„์‹ค์„ฑ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ํ•ดํ”ผ์บ ํผ์Šค๋Š” ๋ณด์ฆํ•˜์ง€ ์•Š์œผ๋ฉฐ, ํ•ด๋‹น ์ •๋ณด ๋ฐ ๊ฒŒ์‹œ๋ฌผ ์ €์ž‘๊ถŒ๊ณผ ๊ธฐํƒ€ ๋ฒ•์  ์ฑ…์ž„์€ ์ž๋ฃŒ ๋“ฑ๋ก์ž์—๊ฒŒ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.
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        ์ €์ž‘๊ถŒ์นจํ•ด, ๋ช…์˜ˆํ›ผ์† ๋“ฑ ๋ถ„์Ÿ ์š”์†Œ ๋ฐœ๊ฒฌ ์‹œ ๊ณ ๊ฐ๋น„๋ฐ”์นด์ง€๋…ธ Viva์˜ ์ €์ž‘๊ถŒ์นจํ•ด ์‹ ๊ณ ๋น„๋ฐ”์นด์ง€๋…ธ Viva๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ์ฃผ์‹œ๊ธฐ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค.
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        ํŒŒ์ผ์˜ ๋‹ค์šด๋กœ๋“œ๊ฐ€ ์ œ๋Œ€๋กœ ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ํŒŒ์ผํ˜•์‹์— ๋งž๋Š” ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ์œผ๋กœ ์ •์ƒ ์ž‘๋™ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฝ์šฐ ๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ์™ฟ’ 70% ์ด์ƒ ๋‚ด์šฉ์ด ์ผ์น˜ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ (์ค‘๋ณต์ž„์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ทผ๊ฑฐ ํ•„์š”ํ•จ) ์ธํ„ฐ๋„ท์˜ ๋‹ค๋ฅธ ์‚ฌ์ดํŠธ, ์—ฐ๊ตฌ๊ธฐ๊ด€, ํ•™๊ป“, ์„œ์  ๋“ฑ์˜ ์ž๋ฃŒ๋ฅผ ๋„์šฉํ•œ ๊ฒฝ์šฐ ์ž๋ฃŒ์˜ ์„ค๋ช…๊ณผ ์‹ค์ œ ์ž๋ฃŒ์˜ ๋‚ด์šฉ์ด ์ผ์น˜ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฝ์šฐ

    ํ•จ๊ป˜ ๊ตฌ๋งคํ•œ ์ž๋ฃŒ๋„ ํ™•์ธํ•ด ๋ณด์„ธ์š”!

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    ์ €๋Š” ์•„๋ž˜์™ฟ’ ๊ฐ™์ด ์ž‘์—…์„ ๋„์™ฟ’๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.
    - ์ฃผ์ œ๋งŒ ์ž…๋ ฅํ•˜๋ฉด ๋ชฉ์ฐจ๋ถ€ํ„ฐ ๋ณธ๋ๅฉ๋‚ด์šฉ๊นŒ์ง€ ์ž๋™ ์ƒ์„ฑํ•ด ๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.
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