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RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry)

RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry) 에 대해 여러 식과 그림을 이용하여 레포트를 작성하였다
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최초등록일 2008.08.22 최종젿작일 2007.06
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RBS (Rutherford Backscattering  Spectrometry)
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    소개

    RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry) 에 대해 여러 식과 그림을 이용하여 레포트를 작성하였다

    목차

    RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry)

    1. History
    [ 표 1 ] 이온빔 분석의 종류왿 특징

    2. Theory
    ① Definition of RBS
    ⓐ He ion RBS
    ⓑ Havy Ion RBS ( ERD )
    ② RBS의 원리
    ⓐ RBS의 실험적 원리
    ⓑ RBS의 이론적 원리

    3. Description ( example )

    4. Reference

    본내용

    1. History

    : 이온빔분석(Ion Beam Analysis)은 1960년대 초 반도체검출기의 발명과 함께 급격한 발전을 거듭하여 오늘에 이르고 있다. 이온빔 분석의 주요 장비인 정전형 가속기는 그 이전에도 많이 존재하였으나 주로 핵물리 실험용으로 사용되었으며 분석을 비롯한 응용분야에 사용되기에는 검출 기술이 너무 불편하였다. 초창기인 1960년대 초에 이미 RBS(Rutherford Backscattering Spectroscopy), Channeling 및 NRA(Nuclear Reaction Analysis) 분석법들이 태동하였으며, 1970 년대 초에 PIXE분석법이 본격적으로 연구되기 시작하였고 70년대부터 ERD(Elastic Decoil Detection) 방법이 확립되었다.

    이즈음에 이러한 소규모 가속기로 만들어낼 수 있는 이온빔을 이용한 분석법들의 총칭으로 이온빔분석(Ion Beam Analysis, IBA)이라는 용어가 생겨났으며 1973년부터는 이 분야의 국 제학술회의인 IBA conference가 시작되어 매 2년마다 열리고 있다. 1980년대 초에는 이온 빔을 집속하여 마이크론 단위의 미세부위를 분석할 수 있는 microprobe기술이 등장하여 오 늘에 이르고 있다 . 이왿 함께 도태 위기에 놓여 있던 소형 정전형 가속기들은 오히려 그 수 가 급증하여 현재 전 세계적으로 1∼수 MV 급의 정전형가속기는 수백 기에 이르고 있다.

    현재 이온빔분석은 표면 및 표면근처의 분석수단으로서, 현대의 표면과학 및 반도체를 비롯 한 박막소재의 특성평가에 필요불가결한 수단으로 자리 잡고 있으며 최근의 초미세 분야의 급한 발전과 더불어 이온빔분석기술의 활용이 더욱 중요해 질것으로 예상된다.

    참고자료

    · : 한국물리학회지 “새물리” Volume 29, Number 1, February
    · 한국물리학회지 “새물리” Volume 35, Number 2, 1995년 4월
    · http://www.kps.or.kr/~pht/9-5/000525.htm
    · http://www.uksaf.org/tech/rbs.html
    · http://yu.ac.kr/%7Esemicon/analysis.htm
    · http://www.kobelco.co.jp/technobook/p238/Principle/Principle_e.htm
    · http://www.lbl.gov/msd/Internal/Facilities/MSD_Ion_Beam.html
    · http://en.wikipedia.org/wiki/Rutherford_backscattering
    · http://www.eaglabs.com/training/tutorials/rbs_theory_tutorial/
    · http://www.eaglabs.com/training/tutorials/rbs_theory_tutorial/
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