dry펌프왿� turbo펌프 비교설명

펌프 [pump] -
압력작용에 의하여 액체나 기체의 유체를 관을 통해서 수송하거나, 저압의 용기 속에 있는 유체를 관을 통하여 고압의 용기 속으로 압송하는 기계이다
Pump의 정의
Torr Absolute(절대진공도) 의 표시 - Torr Abs.
Torr Gauge(게이지상의 진공도)의 표시 - Torr G
Dry pump
Turbo pump
H(고온형)과 L(저온형)나눔
H(고온형) 고온형 펌프 본체의 가스 통과 부분을 공냉에 의해 고온 영역으로 균일화 하여CVD, Ething등의 Process로 발생하는 승화 성 배기 물질을 Pump 내부에 부착시키지 않도록 됨
L(저온형) 저온형 가스 통과부를 수냉으로 하는 것에 의해 저온 여역으로 균일하여 고온에서 반응하는 Process Gas 배기 및 고온 진공 배기에 사용
터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다는 간단한 원리를 가짐
Dry / Turbo pump 원리
Dry pump
Turbo pump
Mechanical Boster pump
및 turbo분자 pump왿� 조합하여 사용 되기도 하고 이런
Pump의 보조 pump로도 사용 되며 주로 활성 가스 배기(CVD, Eching), 또는 불황성 Gas 배기의 배기 Pump로도 사용
전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등에 많이 쓰임.
Dry / Turbo pump 용도
Dry pump
Turbo pump
오일 펌프의 단점인 오일 역류를 완전히 제거
오일 펌프에서 사용되는 오일처리에 대한 비용을 절감효과
역류방지를 위해 설치되는 Cold trap과 Moecular Sieve의 사용 필요없음
오일펌프에 비해서 유지보수 비용이 현저하게 작다
오일펌프에 비해 기계적 수명이 길다 오일을 사용하지 않기때문에 오염 및 점도 변화에 관계없이