BRONZE
BRONZE ๋“ฑ๊ธ‰์˜ ํŒ๋งค์ž ์ž๋ฃŒ

PVD์™ฟ’ CVD

PVD์™ฟ’ CVD ๊ด€๋ จ ๋ฆฌํฌํŠธ.
6 ํŽ˜์ด์งฟ’
ํ•œ์้œ์˜คํ”ผ์Šค
์ตœ์ดˆ๋“ฑ๋ก์ผ 2008.09.27 ์ตœ์ข…์ ฟ’์ž‘์ผ 2007.05
6P ๋ฏธ๋้ฉ๋ณด๊ธฐ
PVD์™ฟ’ CVD
  • ๋ฏธ๋้ฉ๋ณด๊ธฐ

    ์†Œ๊ฐœ

    PVD์™ฟ’ CVD ๊ด€๋ จ ๋ฆฌํฌํŠธ.

    ๋ชฉ์ฐจ

    โ— PVD(Physical Vapor Deposition)
    1. ์ฝ”ํŒ…๋ฐฉ๋ฒ•
    - Evaporation Process, Sputtering Process, Ion Plating Process
    โ— CVD(Chemical Vapor Deposition)

    โ—CVD์™ฟ’ PVD์˜ ์žฅ๋‹จ์ 

    โ–  ์ฐธ๊ณ ๋ฌธํ—Œ

    ๋ณธ๋ๅฉ๋‚ด์šฉ

    โ— PVD(Physical Vapor Deposition)
    โ€ข ๋ฌผ๋ฆฌ์ฆ์ฐฉ๋ฒ• (PVD) ์— ์˜ํ•œ ์ฝ”ํŒ…

    1. ์ฝ”ํŒ…๋ฐฉ๋ฒ•
    ๋ฌผ๋ฆฌ ์ฆ์ฐฉ๋ฒ• (Physical Vapor Deposition)์€ ์ฝ”ํŒ…๋  ๋ฌผ์งˆ์ด ๊ธฐ์ฒด ์ƒํƒœ๋กœ ๋ณ€ํ™˜๋˜์–ด ๋ฌผ๋ฆฌ์  ์ž‘์šฉ์— ์˜ํ•ด ๋ชจ์žฌ์œ„์— ํ”ผ๋ณต๋˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์ด๋ผ๊ณ  ๊ฐ„๋‹จํžˆ ๋งํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์‹ค์ œ PVD ๋ฒ•์—๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐ€์ง€ ๋ฐฉ๋ฒ•๋“ค์ด ํฌํ•จ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

    ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ PVD ์ฝ”ํŒ…๋ฒ•์—๋Š” Evaporation, Sputtering, Ion Plating์ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ ์ด๋“ค ๊ฐ๊ฐ์— ๋Œ€ํ•œ ์žฅ์น˜์˜ ๊ฐœ๋žต๋„๋Š” ๋‹ค์Œ์˜ ๊ทธ๋ฆผ๊ณผ ๊ฐ™๊ณ . ์ด๋“ค ๊ฐ ๋ฐฉ๋ฒ•์— ๋Œ€ํ•œ ์›๋ฆฌ๋Š” ๊ฐ„๋žตํžˆ ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

    1) Evaporation Process
    ์ฝ”ํŒ…๋  ๋ฌผ์งˆ์ด ์—ด์ด๋‚˜ ์ „์ž beam ๋“ฑ์— ์˜ํ•ด์„œ ์ฆ๋ฐœ๋˜์–ด ์ง์„ ์ ์œผ๋กœ ์šด๋™ํ•˜๋‹ค๊ฐ€ ๋ชจ์žฌ์— ์ถฉ๋Œํ•˜๋ฉด์„œ ์ฆ์ฐฉ๋˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•

    2) Sputtering Process
    Plasma ๋‚ด์˜ ์–‘์ด์˜จ์ด ์ „์žฅ์— ์˜ํ•ด ๊ฐ€์†๋˜์–ด ์ฝ”ํŒ…๋  ๋ฌผ์งˆ(target)์˜ ํ‘œ๋ฉด์„ ๊ฐ•ํ•˜๊ฒŒ ์น˜๋ฉด target์˜ ์›์ž๊ฐ€ ์šด๋™์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ํŠ€์–ด ๋‚˜์™ฟ’ ๋ชจ์žฌ์˜ ํ‘œ๋ฉด์— ์ถฉ๋Œํ•˜๋ฉด์„œ ์ฆ์ฐฉ๋˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•

    3) Ion Plating Process
    ์ฝ”ํŒ…๋  ๋ฌผ์งˆ์„ ์–ด๋–ค ๋ฐฉ๋ฒ•์— ์˜ํ•ด ๊ธฐํ™”์‹œํ‚ค๊ณ , ์ด ๊ธฐํ™”๋œ ์›์ž๋ฅผ Plasma ๋‚ด์—์„œ ์ด์˜จํ™” ์‹œํ‚จ ๋‹ค์Œ, ๋ชจ์žฌ์— ์Œ์˜ ์ „์••์„ ๊ฑธ์–ด์ฃผ๋ฉด ์ด์˜จํ™”๋œ ์›์ž๊ฐ€ ๊ฐ€์†๋˜์–ด ๋ชจ์žฌ์˜ ํ‘œ๋ฉด์„ ๋•Œ๋ฆฌ๋ฉด์„œ ์ฆ์ฐฉ๋˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•

    ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ฝ”ํŒ… ๋ฐฉ๋ฒ•๋“ค ๊ฐ€์šด๋ฐ Ion Plating ์— ์˜ํ•ด์„œ ๊ฐ€์žฅ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ์ฝ”ํŒ… ๋ถ€์ฐฉ๋ ฅ์„ ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ๊ณต๊ตฌ์— ๋Œ€ํ•œ ์ฝ”ํŒ… ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ๊ฐ€์žฅ ์œ ๋ฆฌํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ๊ณต๊ตฌ์— ์ ์ ˆํ•œ ์ˆ˜์ค€์˜ ์ฝ”ํŒ…์„ ์–ป๊ธฐ ์œ„ํ•ด์„œ๋Š” ์ฝ”ํŒ… ์žฅ์น˜์˜ ๊ณ ์ง„๊ณต ๋ฌธ์ œ, design, ๋ชจ์žฌ์˜ ์ ํ•ฉํ•œ ํ‘œ๋ฉด์ƒํƒœ, ์ฝ”ํŒ… ์กฐ์—…์˜ software ๋“ฑ์ด ์ค‘์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

    ์ฐธ๊ณ ์ž๋ฃŒ

    ยท http://palgong.knu.ac.kr/~cvdlab/lecture.htm
    ยท http://igreenwe.hihome.com/old/vacu.htm
    ยท http://www.hanvacuum.co.kr/frame1.htm
    ยท http://www.e-cerakorea.co.kr/tech.htm
  • ์ž๋ฃŒํ›„๊ธฐ

      Ai ๋ฆฌ๋ทฐ
      ์ž๋ฃŒ์˜ ํ’ˆ์งˆ์ด ๋†’๊ณ , ์ „๋ฌธ์ ์ธ ๋‚ด์šฉ์ด ๋งŽ์•„ ๊ณผ์ œ์— ๋ฐ”๋กœ ํ™œ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์งฟ’์‹ํŒ๋งค์ž์—๊ฒŒ ๊ฐ์‚ฌ๋“œ๋ฆฌ๋ฉฐ, ๊ณ„์†ํ•ด์„œ ์ข‹์€ ์ž๋ฃŒ ๋ถ€ํƒ๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค! ๊ฐ์‚ฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
    • ์ž์ฃผ๋ฌป๋Š”์งˆ๋ๅฉ์˜ ๋‹ต๋ณ€์„ ํ™•์ธํ•ด ์ฃผ์„ธ์š”

      ํ•ดํ”ผ์บ ํผ์Šค FAQ ๋”๋ต–๊ธฐ

      ๊ผญ ์•Œ์•„์ฃผ์„ธ์š”

      • ์ž๋ฃŒ์˜ ์ •๋ณด ๋ฐ ๋‚ด์šฉ์˜ ์ง„์‹ค์„ฑ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ํ•ดํ”ผ์บ ํผ์Šค๋Š” ๋ณด์ฆํ•˜์ง€ ์•Š์œผ๋ฉฐ, ํ•ด๋‹น ์ •๋ณด ๋ฐ ๊ฒŒ์‹œ๋ฌผ ์ €์ž‘๊ถŒ๊ณผ ๊ธฐํƒ€ ๋ฒ•์  ์ฑ…์ž„์€ ์ž๋ฃŒ ๋“ฑ๋ก์ž์—๊ฒŒ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.
        ์ž๋ฃŒ ๋ฐ ๊ฒŒ์‹œ๋ฌผ ๋‚ด์šฉ์˜ ๋ถˆ๋ฒ•์  ์ด์šฉ, ๋ฌด๋‹จ ์ „์žฌโˆ™๋ฐฐํฌ๋Š” ๊ธˆ์ง€๋˜์–ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.
        ์ €์ž‘๊ถŒ์นจํ•ด, ๋ช…์˜ˆํ›ผ์† ๋“ฑ ๋ถ„์Ÿ ์š”์†Œ ๋ฐœ๊ฒฌ ์‹œ ๊ณ ๊ฐ๋น„๋ฐ”์นด์ง€๋…ธ Viva์˜ ์ €์ž‘๊ถŒ์นจํ•ด ์‹ ๊ณ ๋น„๋ฐ”์นด์ง€๋…ธ Viva๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ์ฃผ์‹œ๊ธฐ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค.
      • ํ•ดํ”ผ์บ ํผ์Šค๋Š” ๊ตฌ๋งค์ž์™ฟ’ ํŒ๋งค์ž ๋ชจ๋‘๊ฐ€ ๋งŒ์กฑํ•˜๋Š” ์„œ๋น„์Šค๊ฐ€ ๋˜๋„๋ก ๋…ธ๋ ฅํ•˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์•„๋ž˜์˜ 4๊ฐ€์ง€ ์ž๋ฃŒํ™˜๋ถˆ ์กฐ๊ฑด์„ ๊ผญ ํ™•์ธํ•ด์ฃผ์‹œ๊ธฐ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค.
        ํŒŒ์ผ์˜ค๋ฅ˜ ์ค‘๋ณต์ž๋ฃŒ ์ €์ž‘๊ถŒ ์—†์Œ ์„ค๋ช…๊ณผ ์‹ค์ œ ๋‚ด์šฉ ๋ถˆ์ผ์น˜
        ํŒŒ์ผ์˜ ๋‹ค์šด๋กœ๋“œ๊ฐ€ ์ œ๋Œ€๋กœ ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ํŒŒ์ผํ˜•์‹์— ๋งž๋Š” ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ์œผ๋กœ ์ •์ƒ ์ž‘๋™ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฝ์šฐ ๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ์™ฟ’ 70% ์ด์ƒ ๋‚ด์šฉ์ด ์ผ์น˜ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ (์ค‘๋ณต์ž„์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ทผ๊ฑฐ ํ•„์š”ํ•จ) ์ธํ„ฐ๋„ท์˜ ๋‹ค๋ฅธ ์‚ฌ์ดํŠธ, ์—ฐ๊ตฌ๊ธฐ๊ด€, ํ•™๊ป“, ์„œ์  ๋“ฑ์˜ ์ž๋ฃŒ๋ฅผ ๋„์šฉํ•œ ๊ฒฝ์šฐ ์ž๋ฃŒ์˜ ์„ค๋ช…๊ณผ ์‹ค์ œ ์ž๋ฃŒ์˜ ๋‚ด์šฉ์ด ์ผ์น˜ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฝ์šฐ

    ํ•จ๊ป˜ ๊ตฌ๋งคํ•œ ์ž๋ฃŒ๋„ ํ™•์ธํ•ด ๋ณด์„ธ์š”!

    ์ฐพ์œผ์‹œ๋˜ ์ž๋ฃŒ๊ฐ€ ์•„๋‹Œ๊ฐ€์š”?

    ์ง€๊ธˆ ๋ณด๋Š” ์ž๋ฃŒ์™ฟ’ ์—ฐ๊ด€๋˜์–ด ์žˆ์–ด์š”!
    ์™ผ์ชฝ ํ™”์‚ดํ‘œ
    ์˜ค๋ฅธ์ชฝ ํ™”์‚ดํ‘œ
    ๋ฌธ์„œ ์ดˆ์•ˆ์„ ์ƒ์„ฑํ•ด์ฃผ๋Š” EasyAI
    ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š”. ํ•ดํ”ผ์บ ํผ์Šค์˜ ๋ฐฉ๋Œ€ํ•œ ์ž๋ฃŒ ์ค‘์—์„œ ์„ ๋ณ„ํ•˜์—ฌ ๋‹น์‹ ๋งŒ์˜ ์ดˆ์•ˆ์„ ๋งŒ๋“ค์–ด์ฃผ๋Š” EasyAI ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.
    ์ €๋Š” ์•„๋ž˜์™ฟ’ ๊ฐ™์ด ์ž‘์—…์„ ๋„์™ฟ’๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.
    - ์ฃผ์ œ๋งŒ ์ž…๋ ฅํ•˜๋ฉด ๋ชฉ์ฐจ๋ถ€ํ„ฐ ๋ณธ๋ๅฉ๋‚ด์šฉ๊นŒ์ง€ ์ž๋™ ์ƒ์„ฑํ•ด ๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.
    - ์žฅ๋ฌธ์˜ ์ฝ˜ํ…์ธ ๋ฅผ ์‰ฝ๊ณ  ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์ž‘์„ฑํ•ด ๋“œ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.
    - ์Šคํ† ์–ด์—์„œ ๋ฌด๋ฃŒ ์บ์‹œ๋ฅผ ๊ณ„์ •๋ณ„๋กœ 1ํšŒ ๋ฐœ๊ธ‰ ๋ฐ›์„ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ง€๊ธˆ ๋ฐ”๋กœ ์ฒดํ—˜ํ•ด ๋ณด์„ธ์š”!
    ์ด๋Ÿฐ ์ฃผ์ œ๋“ค์„ ์ž…๋ ฅํ•ด ๋ณด์„ธ์š”.
    - ์œ ์•„์—๊ฒŒ ์ ํ•ฉํ•œ ๋ฌธํ•™์ž‘ํ’ˆ์˜ ๊ธฐ์ค€๊ณผ ํŠน์„ฑ
    - ํ•œ๊ตญ์ธ์˜ ๊ฐ€์น˜๊ด€ ์ค‘์—์„œ ์ •์‹ ์  ๊ฐ€์น˜๊ด€์„ ์ด๋ฃจ๋Š” ๊ฒƒ๋“ค์„ ๋ฌธํ™”์  ๋ฌธ๋ฒ•์œผ๋กœ ์ •๋ฆฌํ•˜๊ณ , ํ˜„๋Œ€ํ•œ๊ตญ์‚ฌํšŒ์—์„œ ์ผ์–ด๋‚˜๋Š” ์‚ฌ๊ฑด๊ณผ ์‚ฌ๊ณ ๋ฅผ ๋น„๊ตํ•˜์—ฌ ์ž์‹ ์˜ ์˜๊ฒฌ์œผ๋กœ ๊ธฐ์ˆ ํ•˜์„ธ์š”
    - ์ž‘๋ณ„์ธ์‚ฌ ๋…ํ›„๊ฐ
    ํ•ด์บ  AI ์ฑ—๋ด‡๊ณผ ๋Œ€ํ™”ํ•˜๊ธฐ
    ์ฑ—๋ด‡์œผ๋กœ ๊ฐ„ํŽธํ•˜๊ฒŒ ์ƒ๋‹ดํ•ด๋ณด์„ธ์š”.
    2025๋…„ 06์›” 12์ผ ๋ชฉ์š”์ผ
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